Вольфрамовая лодочка

Что такое вольфрамовая лодочка и нормативная база

Вольфрамовая лодочка – это изделие из технически чистого вольфрама, предназначенное для испарения металлов, оксидов и других материалов в условиях высоких температур и вакуума. Форма изделия напоминает миниатюрный открытый тигель вытянутой формы, что и определяет название.

Продукция изготавливается по ТУ 48-19-346-81 – техническим условиям на вольфрамовые и молибденовые изделия для электронной и вакуумной техники. Данный документ устанавливает требования к химическому составу, геометрии и качеству поверхности лодочек.

Марки и материал

В каталоге УРТК представлены лодочки марки В-ПМ – вольфрам порошковой металлургии. Материал получают методом порошковой металлургии из высокочистого вольфрамового порошка с последующим спеканием и прокаткой. Это обеспечивает однородную мелкозернистую структуру, стабильное электрическое сопротивление и воспроизводимые термические характеристики от партии к партии.

Основные свойства материала В-ПМ:

• Температура плавления вольфрама – около 3422 °C, что позволяет работать с испаряемыми материалами до 2000 °C и выше
• Низкое давление паров вольфрама при рабочих температурах – минимальное загрязнение осаждаемой плёнки
• Высокая механическая прочность при нагреве
• Стойкость к термическому удару при правильном режиме нагрева

Типоразмеры

Лодочки поставляются в следующих стандартных длинах. Ширина и глубина желоба соответствуют типовой конструкции, закреплённой в ТУ. Для нестандартных габаритов – уточняйте при оформлении заявки.

Применение в отраслях

Вольфрамовые лодочки В-ПМ востребованы в технологических процессах, где требуется нагрев испаряемого вещества до сверхвысоких температур в вакууме или защитной атмосфере:

• Электронная промышленность – осаждение проводящих и диэлектрических плёнок на подложки микросхем, дисплеев, сенсоров
• Оптика и оптоэлектроника – нанесение просветляющих и отражающих покрытий на линзы, зеркала, фильтры
• Инструментальное производство – вакуумное напыление износостойких и декоративных покрытий на режущий инструмент
• Исследовательские лаборатории – испарение чистых металлов (Al, Au, Ag, Cu и др.) для получения тонкоплёночных образцов
• Солнечная энергетика – формирование контактных слоёв фотоэлектрических элементов

Как подобрать лодочку под задачу

При выборе лодочки учитывайте несколько параметров:

• Длина – определяется геометрией держателей вашей вакуумной установки. Измерьте расстояние между токовводами или уточните паспорт оборудования.
• Масса закладки – чем больше длина и объём желоба, тем больше единовременная загрузка испаряемого материала. Для высокопроизводительных процессов выбирайте длину от 300 мм.
• Испаряемый материал – вольфрамовые лодочки В-ПМ совместимы с большинством металлов и их оксидов; для агрессивных сред (фториды, некоторые оксиды) проконсультируйтесь по материалу дополнительно.
• Режим нагрева – резкие термоциклы сокращают ресурс. Для многократного использования рекомендуется плавный выход на рабочую температуру.

Если типоразмер из стандартного ряда не подходит – рассчитаем под вашу спецификацию.

Ключевые свойства вольфрамовых лодочек В-ПМ

• Рабочая температура – до 2000 °C и выше в вакуумной среде
• Низкая собственная упругость паров – не загрязняет осаждаемое покрытие
• Воспроизводимое электрическое сопротивление – стабильный режим нагрева от партии к партии
• Равномерное испарение по длине желоба благодаря однородной структуре В-ПМ
• Совместимость со стандартными держателями вакуумных испарителей

Все позиции – под заказ; актуальное наличие и сроки поставки уточняйте у менеджеров УРТК.