Мишени для магнетронного напыления

Ag Al Al2O3 AlCu AlLiLaZrTaO AlSi AlTi Au B4C Ba BaTiO3 Bi C CeO4Zr CoNi CoSi Cr Cr3C2 Cu Fe Fe50Mn50 Gd2O3 Ge Ge2Sb2Te5 HfO2 I2 ISn In In2O5Sn InSn Ir LaB6 LaMnO3 Li2CO3 Li2TiO3 Li3PO4 Li4Ti5O12 LiAlTiPO4 LiBO LiF LiFeMnPO LiLaNbO LiLaZrAlO LiLaZrNbO LiLaZrO LiLaZrТаO LiMnSiO LiNbO3 LiPWO LiScAlPO LiScPO LiScYPO LiTaO3 LiTiSiPO LiVSO MgO Mo Nb Nb2O5 Ni Ni75Y25 Ni90Co10 NiCu20 NiFe12Co64 NiFe20 NiFe64 NiV7 PbZrTiO3 Pd Pt Si Si3N4 SiAl SiC SiO SiO2 Sn SrTiO3 Ta Ta2O5 Tb Ti Ti50Al50 Ti75Al25 TiN TiO2 V V2O5 VO2 W Y2O3 Zn ZnAl ZnO ZnS Zr ZrO2 ZrO2Y ZrY А99 А995 А999 АМ4 ВТ1-0 ВТ1-00 М00б М0б М0к М1 МВ Н-0 НП0Эви НП1 НП2 ОВЧ000 ТВЧ Х15Н60 Х20Н80 Э110 Э125 ЭРХ-1

Борид Карбид Карбонат Манганит Ниобат Нитрид Оксид Силицид Сульфид Танталат Титанат Фосфат Фторид Цирконат-титанат

115х256 50 74х125 76

3 6 12

Из соединений Из сплавов металлов Из чистых металлов Литийсодержащая

Алюминий Алюминий-кремний Алюминий-медь Алюминий-титан Барий Бор Ванадий Висмут Вольфрам Гадолиний Гафний Германий Германий-сурьма-теллур Графит Железо Железо-марганец Золото Индий Индий-Олово Иридий Иттрий Йод Йод-олово Кобальт Кобальт-никель Кремний Кремний-алюминий Лантан Литий Литий-титан Магний Медь Молибден Никель Никель-ванадий Никель-железо Никель-железо-кобальт Никель-иттрий Никель-кобальт Никель-медь Ниобий Нихром Олово Палладий Платина Свинец Серебро Стронций Тантал Тербий Титан Титан-алюминий Хром Церий-цирконий Цинк Цинк-алюминий Цирконий Цирконий-Иттрий

Круглая Прямоугольная